| 激光和平面镜安置在主轴和工作台上，沿每一轴X轴、Y轴、Z轴分别分步交替移动，这样重复一直走到对角线的对角上。所有三个轴每一步移动后对角线的定位误差就采集到了。这项技术采集了三倍的数据量，并允许可以测量得到每一轴移动时的位移误差。
靶标移动的轨迹并不是直线，侧向移动是较大的。而传统的干涉仪不允许这么大的侧向移动，测不到数据。而LDDM激光干涉仪使用一个平面镜作靶标，平行于镜子的移动不会转移激光束，也不会改变从光源来的距离。因此，测量不会受到影响。
最多可以有四个工作位置的温度传感器连接到自动温度补偿单元。自动温度补偿也对诸如环境因素，如空气温度、大气压力以及机床温度的变化提供补偿。 
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